Circuits intégrés

Les exigences de filtration sont essentielles dans la fabrication de très petits composants électroniques appelés circuits intégrés. Cette vaste catégorie comprend des dispositifs tels que les transistors, les condensateurs, les résistances, les diodes, les LED et les cellules photoélectriques. Les différents types de dispositifs peuvent être intégrés pour former des circuits intégrés ou des dispositifs VLSI (Very Large Scale Integration) tels que des microprocesseurs et des mémoires à accès aléatoire (RAM). Au fur et à mesure que de plus en plus de dispositifs sont empilés dans un seul circuit intégré, la distance entre les dispositifs, appelée largeur de ligne ou géométrie, est également réduite. Cela permet des fonctions plus rapides tout en réduisant le coût par puce. Les procédés utilisés pour fabriquer ces appareils nécessitent donc de l'eau ultrapure ainsi qu'un certain nombre de produits chimiques et de mélanges chimiques potentiellement dangereux ou agressifs, qui doivent tous être hautement filtrés pour garantir la qualité des appareils et un rendement élevé.