Dépôt chimique en phase vapeur

Graver Technologies fournit une filtration haute performance pour les applications de pompes à vide.

Élimination très efficace des particules des conduites d'aspiration de gaz à haute température

Le dépôt chimique en phase vapeur organométallique est une variante améliorée du dépôt chimique en phase vapeur utilisé pour créer des films minces semi-conducteurs cristallins de haute pureté et des micro/nanostructures. Il s'agit de la technologie de pointe utilisée dans les LED, les cellules solaires et les transistors à effet de champ (FET). Cependant, les procédés MOCVD (SiC, GaAs, GaN, autres semi-conducteurs composés) produisent également des poudres et des particules lorsque les gaz d'échappement s'écoulent vers le tuyau à basse température (environ 150 ℃) et la pompe à vide. Les particules peuvent causer des dommages imprévus et importants aux pompes à vide. Pour protéger les pompes à vide, un filtre haute performance est nécessaire pour capter les petites particules à haute température de fonctionnement.

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À propos des filtres Graver pour le dépôt chimique en phase vapeur

L'élément remplaçable et nettoyable doté d'une cartouche plissée ou « à ailettes radiales » offre une surface filtrante maximale dans un ensemble de filtre compact
Assure une étanchéité positive du joint pour empêcher le contournement des fluides non filtrés. Une longue durée de vie du filtre, une faible chute de pression, une grande capacité de rétention de la saleté et une filtration efficace sont assurées.
La plupart des modèles n'utilisent qu'un seul élément filtrant pour permettre un remplacement rapide et simple des cartouches.
Tous les modèles peuvent être entretenus rapidement sans rompre les raccords de tuyauterie et les raccords d'entrée/sortie sont fournis dans une configuration horizontale en ligne

Product Selection

Filtres à vide Consler® série LKV/HKV - pour protéger les pompes à vide à des températures de fonctionnement élevées

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