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被称为半导体类别的超小型电子元件的制造包括晶体管、电容器、电阻器、二极管、发光二极管和光电管等设备。不同类型的设备可以集成在一起形成集成电路,或微处理器和随机存取存储器 (RAM) 等VLSI(超大规模集成)设备。高纯度工艺需要使用同样高纯度的化学品进行剥离、蚀刻、缓冲和漂洗。其中一些工艺使用潜在的危险或侵蚀性化学物质和化学混合物,所有这些化学物质和化学混合物都必须过滤到纳米级别,以确保设备的质量和高产量。此外,这些工艺可能需要超过150摄氏度的温度,这将限制仅限于仅由氟聚合物(例如PFA和PTFE)组成的材料。
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