超纯水

Graver Technologies为满足超纯水的要求提供了有效的技术。

超纯水/去离子水的高性能过滤技术

多年来，Ultrapure 水质的规格变得越来越严格，过滤技术也不断发展以满足这些要求。半导体设施可以以 2 MGD 或约 5500 立方米/天的速度使用超纯水。半导体行业的超纯水规格是最严格的。这些自来水厂通常是独立的设施，几乎独立于晶圆厂运营。水必须同时满足颗粒和电导率规格，需要使用反渗透、树脂床和机械过滤技术。在将水输送到晶圆厂之前，额定值低于 0.1 微米的最终过滤器是典型的，在那里可以找到等级相似的使用点过滤器。

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关于 Graver 的超纯水过滤器

制造、使用 18 mω-cm DI 水冲洗，经过测试并在 ISO 7 级洁净室环境中包装，以确保低可萃取性和低颗粒脱落
从流入的水流中去除颗粒
澄清/捕获来自上游工艺的离子交换树脂
反渗透 (RO) 过滤器预过滤
卓越的流动特性、高污染物容量和持续去除亚微米颗粒。
墨盒具有高达 18 mω-cm 的快速冲洗电阻率和个位数 ppb 的 TOC 水平。

Product Selection

ZTEC™ 用于低至 0.03 微米的关键颗粒控制
Stratum® A、PMA™、Stratum™ C 0.5 和 1 微米的熔喷过滤器为反渗透膜提供有效保护
WaterTec™ 0.05 到 0.2 微米的薄膜是非关键应用中的经济型膜选择

Final Applications

POU

冲洗水

树脂陷阱

水系统

预反渗透

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ACS-012 用于预反渗透的褶式过滤器

微电子超纯水预反渗透

案例研究

GHP™ Series Filter Housings

微电子超纯水预反渗透

Data Sheet

Gravex® GR-1-0 UP (OH)

微电子超纯水冲洗水

Data Sheet

Safety Data Sheet

Gravex® GR-2-0 UP (H)

微电子超纯水冲洗水

Data Sheet

Safety Data Sheet

Gravex® GR-3-0 UP (H/OH)

MBC™

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